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[行業(yè)資訊]化學機械CMPAl2O3氧化鋁精拋液[ 2025-05-28 14:39 ]
吉致電子氧化鋁精拋液(CMP Slurry)采用高純度分級氧化鋁微粉為原料,經特殊表面改性工藝處理,通過科學配方精密配制而成。具有以下顯著優(yōu)勢:適用于化學機械平面研磨工藝CMP場景---鋁合金、不銹鋼、鎢鋼、鑄鐵件等金屬材質;以及藍寶石、碳化硅襯底、光學玻璃、精密陶瓷基板等半導體襯底材料的精密拋光加工。氧化鋁精拋液性能優(yōu)勢突出:獨特的抗結晶配方,確保拋光過程穩(wěn)定對拋光設備無腐蝕,維護簡便殘留物易清洗,提高生產效率氧化鋁精拋液效果卓越:創(chuàng)新的化學機械協(xié)同作用機制,顯著提升拋光效率優(yōu)化的表面處理工藝,確保拋光面質量達到
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[吉致動態(tài)]納米拋光液---納米氧化鋁拋光液[ 2022-08-31 17:24 ]
氧化鋁粉體具有多個晶體形態(tài),常見的有Y,θ,α,δ等相。其中α相的氧化鋁為其他相的氧化鋁高溫轉變而成。作為拋光液用的α氧化鋁顆粒,根據(jù)拋光(粗拋/精拋)的要求不同,a -Al2O3平均顆粒大小可以從100nm到500/1000nm而不同,但不管是何種拋光,氧化鋁的硬團聚體,或超大顆粒越少越好,這些超大顆粒會在拋光過程中給晶體表面造成劃傷,導致整個拋光過程失敗。所以,在制備以a-Al2O3為主體的拋光液過程中,如何控制超大顆粒是一關鍵。吉致電子氧化鋁研磨液/氧化鋁精拋液,顆粒經表面改性處理,按特殊化學配方充分混合制備
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