- [吉致資訊]吉致電子CMP精拋墊的作用有哪些[ 2024-12-17 15:37 ]
- 吉致電子CMP精拋墊的作用有哪些?化學(xué)機械拋光(CMP)技術(shù)是目前國際上公認的唯一能夠?qū)崿F(xiàn)全局平坦化的技術(shù),在半導(dǎo)體技術(shù)領(lǐng)域中占據(jù)著舉足輕重的地位。CMP精拋墊,作為CMP化學(xué)機械平面研磨(Chemical Mechanical Polishing)精拋階段所使用的拋光墊,是半導(dǎo)體制造過程中不可或缺的關(guān)鍵耗材。吉致電子CMP拋光墊--精拋墊的功能特點將通過以下四個方面進行闡述: CMP精拋墊在CMP工藝流程中發(fā)揮著至關(guān)重要的作用,其主要功能涵蓋:1.確保拋光液能夠高效且均勻
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- [吉致動態(tài)]半導(dǎo)體拋光墊---吉致電子Suba pad替代[ 2024-12-10 15:14 ]
- 在半導(dǎo)體硅片、襯底、光學(xué)玻璃以及精密陶瓷等材料的加工領(lǐng)域,CMP拋光工藝是至關(guān)重要的環(huán)節(jié),而CMP拋光墊(CMP Pad)則是這一環(huán)節(jié)中的關(guān)鍵因素之一。其中,由陶氏公司(Dow)生產(chǎn)的SUBA拋光墊(Suba Pad)備受矚目。 陶氏公司生產(chǎn)的SUBA拋光墊在CMP化學(xué)機械研磨方面有著優(yōu)異的拋光性能,尤其在拋光半導(dǎo)體晶圓方面效果顯著。半導(dǎo)體晶圓和襯底是現(xiàn)代集成電路產(chǎn)業(yè)的基石,晶圓和襯底表面的平坦度、光潔度等直接影響芯片的性能和質(zhì)量。SUBA拋光墊憑借其獨特的材料和結(jié)構(gòu),能夠使拋光過程達到一
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- [行業(yè)資訊]吉致電子CMP拋光墊:從粗到精,體驗高效拋光[ 2024-11-29 14:35 ]
- CMP(化學(xué)機械拋光)拋光墊是一種在半導(dǎo)體制造過程中用于平面化晶圓表面的關(guān)鍵材料。CMP拋光墊通過結(jié)合化學(xué)反應(yīng)和機械研磨的方式,能夠有效地去除晶圓表面的多余材料,從而達到高度平整的表面質(zhì)量。拋光墊CMP PAD通常由高分子聚合物材料制成,表面具有一定的微孔結(jié)構(gòu),以便在拋光過程中儲存和釋放拋光液CMP Slurry,從而確保拋光過程的均勻性和效率。 CMP拋光墊在使用過程中需要定期更換,以保持其最佳的拋光性能。不同的CMP拋光墊適用于不同的拋光工藝和材料,因此選擇合適的拋光墊對于確保晶圓質(zhì)量
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- [吉致動態(tài)]Suba800拋光墊國產(chǎn)替代一樣香[ 2024-10-15 16:47 ]
- Suba800是一款在半導(dǎo)體及集成電路相關(guān)領(lǐng)域被廣泛使用的cmp拋光墊。其作為化學(xué)機械平面研磨工藝的知名耗材,產(chǎn)品特性顯著且穩(wěn)定性高,適用于半導(dǎo)體硅片、晶圓、精密陶瓷、藍寶石襯底等工件的表面平坦化。 Suba800拋光墊還適用于光學(xué)和金屬材料的拋光。在光學(xué)材料的拋光中,Suba800能提供高透明度、低粗糙度的表面,提高光學(xué)性能。在金屬工件拋光中,Suba800能夠有效去除金屬表面的氧化膜和劃痕,使其表面更加光滑、亮麗。 無錫吉致電子科技有限公司生產(chǎn)的 Suba800國產(chǎn)替代產(chǎn)品
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- [常見問題]CMP拋光墊的種類及特點[ 2024-07-26 16:42 ]
- Cmp拋光墊種類可按材質(zhì)結(jié)構(gòu)主要有:聚合物拋光墊、無紡布拋光墊、帶絨毛結(jié)構(gòu)的無紡布拋光墊、復(fù)合型拋光墊。①聚合物拋光墊聚合物拋光墊的主要成分是發(fā)泡體固化聚氨酯,聚氨酯拋光墊具有抗撕裂強度高、耐磨性強、耐酸堿腐蝕性優(yōu)異的特點,是最常用的拋光墊材料之一。 圖 聚氨酯拋光墊微觀結(jié)構(gòu) 在拋光過程中,聚氨酯拋光墊表面微孔可以軟化和使拋光墊表面粗糙化,并且能夠?qū)⒛チ项w粒保持在拋光液中,可以實現(xiàn)高效的平坦化加工。聚氨酯拋光墊表面的溝槽有利于拋光殘渣的排出。但聚氨酯拋光墊硬度過高,拋光過程中變形小,加工過程中容
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- [常見問題]吉致電子CMP拋光墊的作用[ 2024-07-18 16:19 ]
- CMP技術(shù)是指被拋光材料在化學(xué)和機械的共同作用下,工件表面達到所要求的平整度的一個工藝過程。cmp拋光液中的化學(xué)成分與被拋磨工件材料表面進行化學(xué)反應(yīng),形成易去除的軟化層,拋光墊和拋光液中的研磨顆粒對材料表面進行物理機械拋光將軟化層除去。在CMP制程中,拋光墊的主要作用有:①使拋光液有效均勻分布至整個加工區(qū)域,且可提供新補充的拋光液進行一個拋光液循環(huán);②從工件拋光表面除去拋光過程產(chǎn)生的殘留物(如拋光碎屑、拋光碎片等);③傳遞材料去除所需的機械載荷;④維持拋光過程所需的機械和化學(xué)環(huán)境。除拋光墊的力學(xué)性能以外,其表面組織
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- [常見問題]打磨碳化硅需要哪種拋光墊?[ 2023-08-17 16:41 ]
- 打磨碳化硅需要哪種拋光墊? 打磨碳化硅襯底分研磨和拋光4道工序:粗磨、精磨、粗拋、精拋。拋光墊的選擇根據(jù)CMP工藝制程的不同搭配不同的研磨墊:粗磨墊/精磨墊/粗拋墊/精拋墊 吉致電子CMP拋光墊滿足低、中及高硬度材料拋光需求,具有高移除率、高平坦性、低缺陷和高性價比等優(yōu)勢。結(jié)合硬質(zhì)和軟質(zhì)研磨拋光墊的優(yōu)點,可兼顧工件的平坦度與均勻度碳化硅研磨選擇吉致無紡布復(fù)合拋光墊,提供更快磨合的全局平坦性,提升碳化硅晶圓制程的穩(wěn)定性與尺寸精密度。 壓紋和開槽工藝,讓PAD可保持拋光
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- [常見問題]半導(dǎo)體拋光---硅片拋光墊怎么選[ 2023-08-08 16:31 ]
- 硅片拋光涉及到半導(dǎo)體工件的技術(shù)加工領(lǐng)域,硅片拋光墊的多孔結(jié)構(gòu)和軟性磨料材料,可以適應(yīng)不同硅片材料的表面結(jié)構(gòu),達到不同表面加工的需求。在微電子、半導(dǎo)體、光電等領(lǐng)域中,CMP拋光墊的使用越來越廣泛,尤其是在制造高性能晶體管、集成電路和MEMS等微納米器件中,CMP拋光墊的質(zhì)量和性能至關(guān)重要。 硅片拋光墊的主要作用有:①使拋光液有效均勻分布至整個加工區(qū)域,且可提供新補充的拋光液進行一個拋光液循環(huán);②從工件拋光表面除去拋光過程產(chǎn)生的殘留物(如拋光碎屑、拋光碎片等);③傳遞材料去除所需的
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- [行業(yè)資訊]半導(dǎo)體先進制程PAD拋光墊國產(chǎn)替代進行中[ 2023-06-23 11:09 ]
- 國內(nèi)半導(dǎo)體制造的崛起加速推動了半導(dǎo)體材料的國產(chǎn)化進程。在政策、資金以及市場需求的帶動下,我國集成電路產(chǎn)業(yè)迅猛發(fā)展,帶動上游材料需求增長。先進制程CMP拋光液及CMP拋光墊用量大增,國產(chǎn)替代進行中。 CMP拋光墊(CMP PAD)一般分為聚氨酯拋光墊、無紡布拋光墊、阻尼布拋光墊等,高精密研磨拋光墊應(yīng)用于半導(dǎo)體制作、平面顯示器、玻璃光學(xué)、各類晶圓襯底、高精密金屬已經(jīng)硬盤基板等產(chǎn)業(yè),目前主要型號有 IC1000、IC1400、IC2000、SUBA等,其中IC1000和SUBA是用得最廣的。&n
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- [常見問題]吉致電子拋光液--CMP拋光工藝在半導(dǎo)體行業(yè)的應(yīng)用[ 2023-02-09 13:14 ]
- CMP化學(xué)機械拋光應(yīng)用于各種集成電路及半導(dǎo)體行業(yè)等減薄與平坦化拋光,吉致電子拋光液在半導(dǎo)體行業(yè)的應(yīng)用,主要為STI CMP、Oxide CMP、ILD CMP、IMD CMP提供拋光漿料與耗材。 CMP一般包括三道拋光工序,包括CMP拋光液、拋光墊、拋光蠟、陶瓷片等。拋光研磨工序根據(jù)工件參數(shù)要求,需要調(diào)整不同的拋光壓力、拋光液組分、pH值、拋光墊材質(zhì)、結(jié)構(gòu)及硬度等。CMP拋光液和CMP拋光墊是CMP工藝的核心要素,直接影響工件表面的拋光質(zhì)量。 在半導(dǎo)體行業(yè)CMP環(huán)節(jié)之中,也存在
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