吉致電子粒徑小于100nm的球形氧化鈰拋光液可用于單晶硅片表面CMP及多晶硅CMP。下面簡單談?wù)剢尉Ч韬投嗑Ч璧膮^(qū)別：

 單晶硅和多晶硅是兩種不同的硅材料，它們的主要區(qū)別在于晶體結(jié)構(gòu)、物理性質(zhì)和用途等方面。

  ①晶體排列組成不一樣：

  單晶硅是由許多晶體周期性排列而成的，其晶體結(jié)構(gòu)具有高度的有序性和一致性，因此其晶體內(nèi)部的原子排列和晶體缺陷都比較少。

  多晶硅是由許多小的晶體組成的，每個小晶體的晶體結(jié)構(gòu)都有一定的差異，因此其晶體內(nèi)部的原子排列和晶體缺陷都比較復(fù)雜。
 ②晶體結(jié)構(gòu)高度不同，物理性質(zhì)不同

  由于單晶硅的晶體結(jié)構(gòu)高度有序，其物理性質(zhì)也相對比較均勻，具有較高的電子遷移率和載流子濃度，因此適合用于制造高性能的電子器件，如半導(dǎo)體器件等。

  而多晶硅的物理性質(zhì)則相對不均勻，其電子遷移率和載流子濃度較低，因此適合用于制造低成本的電子器件，如液晶顯示器、LED等。
 ③應(yīng)用領(lǐng)域不同

單晶硅和多晶硅的用途也有所不同。

單晶硅主要用于制造高性能的電子器件和高精度的光學(xué)器件，如激光器、光學(xué)濾波器等。而多晶硅則主要用于制造低成本的電子器件和大規(guī)模的光伏器件，如太陽能電池等。

總之，單晶硅和多晶硅是兩種不同的硅材料，它們在晶體結(jié)構(gòu)、物理性質(zhì)和用途等方面都有所不同。根據(jù)不同的應(yīng)用需求，可以選擇合適的材料進行制造和應(yīng)用。

吉致電子為單晶硅、多晶硅提供不同CMP拋光解決方案，有效提升硅晶圓表面精密度，提高拋光效率及得到很低的表面粗糙度使產(chǎn)品表面光亮有達(dá)到鏡面效果。

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