您好,歡迎來到吉致電子科技有限公司官網!
收藏本站|在線留言|網站地圖

吉致電子拋光材料 源頭廠家
25年 專注CMP拋光材料研發(fā)與生產

訂購熱線:17706168670
熱門搜索: 阻尼布拋光墊復合拋光皮復合拋光墊粗拋皮粗拋墊
吉致電子專注金屬拋光、陶瓷拋光、半導體拋光、硬盤面板拋光
當前位置:首頁» 行業(yè)資訊 » 吉致電子藍寶石研磨液CMP減薄工藝

吉致電子藍寶石研磨液CMP減薄工藝

文章出處:責任編輯:人氣:-發(fā)表時間:2022-11-30 17:01【

  藍寶石研磨液/拋光液,是通過化學機械拋光技術(CMP Chemical Mechanical Polishing ) 用于藍寶石襯底、窗口片的研磨和減薄,達到減薄尺寸、表面平坦化效果。

  吉致電子藍寶石研磨液由優(yōu)質聚晶金剛石微粉、復合分散劑和分散介質組成。藍寶石研磨液利用聚晶金剛石的特性,在研磨拋光過程中保持高切削效率的同時不易對工件產生劃傷。

  吉致電子藍寶石研磨液、CMP拋光液可以應用在藍寶石襯底的研磨和減薄、光學晶體、硬質玻璃和晶體、超硬陶瓷和合金、磁頭、硬盤、芯片等領域的研磨和拋光。

藍寶石研磨液減薄工藝.jpg

  吉致電子藍寶石研磨液在藍寶石襯底方面的應用:

1. 藍寶石外延片生產前襯底的雙面研磨:藍寶石研磨液研磨一道或多道,根據最終藍寶石襯底研磨要求用6um、3um、1um不等的研磨液。

2. 藍寶石LED芯片背面減薄

為了解決藍寶石的散熱問題,需要將藍寶石襯底的厚度減薄,從450nm左右減至100nm左右。主要有兩步:先在橫向減薄機上,用50-70um的砂輪研磨磨去300um左右的厚度;再用拋光機針對不同的研磨盤(錫/銅盤),采用合適的藍寶石研磨液(水/油性)對芯片背面拋光,從150nm減至100nm左右。 

本文由無錫吉致電子科技原創(chuàng),版權歸無錫吉致電子科技,未經允許,不得轉載,轉載需附出處及原文鏈接。http://lygpingan.cn/

無錫吉致電子科技有限公司

聯(lián)系電話:17706168670

郵編:214000

地址:江蘇省無錫市新吳區(qū)行創(chuàng)四路19-2

相關資訊